Was ist Röntgen-Mikroanalyse?
Die Röntgenmikroanalyse (auch Energiedispersive Röntgenspektroskopie, EDX oder EDS genannt) ist eine Form der Elektronenmikroskopie, mit der nicht die strukturelle Oberfläche einer Probe untersucht werden soll sondern die chemische Zusammensetzung. Dabei wird ausgenutzt, dass jedes Element eine charakteristische Röntgenstrahlung aussendet, wenn man es anregt. Dies kann zum Beispiel durch Elktronenbeschuss in einem Rasterelektronenmikroskop geschehen oder auch durch Röntgenstrahlen. Dabei kommt es durch eine anschließende Umlagerung der Elektronen in der Atomhülle zu einem Aussenden der Röntgenstrahlung, deren Spektrum für jedes Element verschieden ist.
Diese Strahlung muss nun detektiert werden. Dazu werden zwei Varianten verwendet, die Energie jedes Röntgenquants messen. Zum einen der Silizium –Lithium-Detektor und dem Siliziumdriftdetektor (SSD). Die beiden Varianten unterscheiden sich hauptsächlich darin, dass die SSD aus Wafern und nicht aus Kristallen gefertigt werden. Damit sind sie deutlich dünner (etwa Faktor 10) und erzeugen weniger volumenabhängige Leckströme. Sie setzen sich daher mehr und mehr durch. Bei beiden Varianten ist das Prinzip jedoch dasselbe: Die eintreffenden Röntgenquanten erzeugen im Kristall freie Elektronen und Ionen. Die Ladungsdifferenz dient dann als charakteristische Größe für die Energie des Röntgenquants.
Die Röntgenmikroanalyse wird oft mit der REM kombiniert. Auch hierbei kann die Probe in Linien abgefahren werden, so dass man am Ende sowohl die Oberflächenstruktur als auch die chemische Zusammensetzung der Probe erhält.